厂商技术优化，降本提产新动作

   生活中对于杀菌产品的需求增多，相对应针对深紫外LED产品的各项指标，效率，生产成本，产能等方面都有新的要求。基于对市场的需求，深紫外LED外延生长方面的相关厂商，公布了最新动态：

CCS 3x2 MOCVD系统

    本次CCS 3x2 MOCVD系统具有3x2 英寸晶圆的容量，最高工作温度为 1400°C，由德国沉积设备制造商Aixtron SE子公司Aixtron Ltd 从其用于化合物半导体材料的紧密耦合喷头金属有机化学气相沉积 (CCS MOCVD) 产品系列向博伊西州立大学提供。

    CCS 3x2 系统包括新型结构——能够在蓝宝石上沉积石墨烯和六方氮化硼 (hBN)作为氮化镓 (GaN) 基紫外发光二极管 (UV LED)。还有 Aixtron 专有的 ARGUS 和 EPISON 原位计量技术，是目前唯一可以配置用于组合 2D 和 GaN 研究的系统技术，同时还允许异质结构的生长。

 

4个反应腔的ProMaxy® UV 的机型

    针对深紫外 LED外延生长 AlN（铝氮）的材料晶体质量，表面形貌特征，及裂纹控制，对提高功率转化效率和良品率具有重大的影响，在这个基础上中晟光电在技术方面做了进一步提升，建立了外延生产高质量的 AlN 基板，可以将2英寸片产能提高到15片的MOCVD核心技术。

    日晟光电随后推出了4 个反应腔的ProMaxy® UV的机型，进一步达成降本提产。既可每腔独立外延生产深紫外 LED 全结构，也能分腔集成外延生产 AlN 基板和 LED 结构。其表面特征 Rq<0.5nm，边缘裂纹控制在<2mm的高质量、低成本的 AlN 基板，已经成了众多客户深紫外LED首选。

    青岛萤光创新科技有限公司，拥有专业的博士后团队，专注于紫外杀菌应用的研究，经过多年深耕紫外行业，公司获得多项国家发明和实用新型专利。目前多款杀菌模组类产品已经投入市场。更多详细内容可以浏览公司网站www.qdyingguang.com联系公司索取或者关注微信公众号。

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